真空PVD镀膜基本步骤

作者：来源：更新时间：2025-10-9 点击次数：

1、前处理工艺

褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。

2、镀膜工艺

抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。

3、后处理工艺

清洗：确保镀膜前产品表面的清洁，越新鲜的表面，越能保证镀膜质量。

抽真空：将真空室内的残余气体抽走。

加热烘烤：炉体和工件同时加热，加速残余气体的释放。

压升率测试：测试炉体的漏气率和放气率。

轰击清洗：去除工件表面的杂志，露出新鲜表面。

镀膜：沉积膜层。

冷却：避免工件氧化变色。

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